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團簇式沉積設備

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多功能Cluster團簇式薄膜沉積/刻蝕系統MBE/PLD/ALD/ICP/RIE/Sputter/IBE/EBE

發送詢盤

v CLUSTER團簇式系統描述

多功能CLUSTER團簇式系統等，支持8個工位子系統，全自動傳輸樣品。

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電子束蒸發鍍膜機

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激光直寫光刻機

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