蒸銦專用設(shè)備，滿足高品質(zhì)銦柱沉積的需要，具有成熟的蒸銦的工藝，具有優(yōu)化的Lift-off工藝設(shè)計，滿足高厚度、回流、倒裝冷焊的工藝前道要求。

用于超導(dǎo)量子實(shí)驗(yàn)室制備超導(dǎo)結(jié)（量子比特和約瑟夫森結(jié)）和量子器件，可以制備大面積、高穩(wěn)定性和可重復(fù)性超導(dǎo)結(jié)。

使用離子源，將靶材（金屬或電介質(zhì)）沉積或?yàn)R射到基片上，以形成金屬或電介質(zhì)膜。因?yàn)殡x子束是等能的（離子具有相等的能量），且高度準(zhǔn)直，所以與其他PVD（物理氣相沉積）技術(shù)相比，其能夠精確地控制厚度，并沉積非常致密的高質(zhì)量薄膜。

用于在超高真空環(huán)境下制備高性能的Nb、Ti、Al、NbTi等低溫超導(dǎo)薄膜和Fe、Co、Ni及合金等磁性薄膜。

超高真空電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)