團(tuán)簇式沉積設(shè)備應(yīng)用

Cluster集群式半導(dǎo)體工藝系統(tǒng)，可集成PVD /PECVD /Etch /ALD/Plasma Clean / Annealing等工藝模塊,支持8-10個工位，穩(wěn)定的高精度真空機(jī)械手臂，使基片在各腔室之間的高效傳輸。適用于工藝實驗研究、批量器件的制備等。

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