v  功能特點

ü 樣品尺寸8"

ü  液體介質加熱、冷卻樣品臺，-70℃-200℃或-40℃-200℃可選

ü  樣品臺可旋轉，轉速0-30RPM可調

   ü  樣品臺可升降調節，0-100mm距離可調

      ü 帶有工藝恒溫器系統

ü  高速率蒸發源，蒸發源坩堝28cc，優化的剝離工藝具有均勻和高度準直的沉積通量,功率6kw,帶水冷功能

ü 可鍍膜厚度10um-15um

ü 可增加全自動銦粒給料機，滿足更厚鍍膜厚度需求，厚度大于40um以上均可

ü  集成考夫曼離子源Gridded Ion Source

ü  全自動在線膜厚檢測，8晶振探頭自動切換，帶水冷

ü  LOAD-LOCK全自動或手動進樣系統

ü  高真空無油系統：低溫冷凝泵+前級干泵系統

v  蒸銦效果圖