v  功能特點

ü   本底真空5E-10Torr

ü   配置REHEED系統

ü   4軸加熱樣品臺，可旋轉、XYZ方向均可移動

ü   手動或自動LoadLock上下片系統

ü   抽氣流量控制

ü   全金屬泄漏閥

ü   激光加熱器

v  生長材料

    異質結構金屬氧化物（如Fe/SrTiO3、Nb/SrTiO3、BiFeO3等）、高溫超導材料、硅氧化物、高K氧化物、金屬氮化物、鐵電材料等